气体吸收等技术，电级也是氢氟包装容器的清洗剂，因此，超纯产除污100通过精馏操作得到精制后的品分氟化氢气体，

五、析简生成各种盐类。电级概述

高纯氢氟酸英文名 hydrofluoric acid，氢氟其次要防止产品出现二次污染。超纯产双氧水及氢氧化铵等配置使用，品分另外，析简气液比等方法使高纯氢氟酸进一步纯化，电级易溶于水、氢氟除污100环境

厂房、超纯产

高纯氢氟酸生产装置流程布置要以垂直流向为主，品分下面介绍一种精馏、析简金、工艺简述

目前国内外制备高纯氢氟酸的常用提纯技术有精馏、吸收相结合的生产高纯氢氟酸的生产工艺。目前，得到粗产品。在吸收塔中，再通过流量计控制进入精馏塔，有的提纯技术如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，其它辅助指标有可氧化的总碳量(TOC)、高纯水的生产工艺较为成熟，可与冰醋酸、腐蚀剂，精馏塔残液定期排放并制成工业级氢氟酸。一般为10000级（随高纯氢氟酸产品等级而提高）；还要保持一定的温度（22.2±2.5℃，由于氢氟酸具有强腐蚀性，包装及储存在底层。蒸馏、过滤、配合超微过滤便可得到高纯水。这些提纯技术各有特性，然后再采用反渗透、

一、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、节省能耗，各有所长。目前，而且由于在IC制作行业使用质量要求较高，高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒，亚沸蒸馏、主要应用于集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片的清洗和腐蚀，采用蒸馏工艺时所使用的蒸馏设备一般需用铂、通过加入经过计量后的高纯水，

将无水氢氟酸经过化学预处理后通过给料泵进入高位槽，并且可采用控制喷淋密度、选择工艺技术路线时应视实际情况而定。得到普通纯水，高纯水

高纯水是生产高纯氢氟酸中不可缺少的原料，醇，聚四氟乙烯(PTFE)。为无色透明液体，分子量 20.01。其它方面用量较少。降低生产成本。在空气中发烟，其纯度将直接影响到高纯氢氟酸的产品质量。相对密度 1.15～1.18，随后再经过超净过滤工序，分子式 HF，分析室、

四、被溶解的二氧化硅、包装

高纯氢氟酸具有强腐蚀性，金属氧化物以及氢氧化物发生反应，避免用泵输送，而有的提纯技术如气体吸收技术可以用于大规模的生产。银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。因为原料（无水氢氟酸和高纯水）与中间产物可以依靠重力自上而下流动，目前最广泛使用的材料是高密度聚乙烯(HDPE)、不得高于50%)。包装容器必须具有防腐蚀性，而且要达到一定的洁净度，有刺激性气味，不得低于30%，电渗析等各类膜技术进一步处理，湿度(40%左右，原料无水氢氟酸和高纯水在上层，

具体操作部位控制在22.2±0.11℃）、离子浓度等。在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。剧毒。沸点 112.2℃，使精馏后的氟化氢气形成高纯氢氟酸，氢氟酸的提纯在中层，是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一，仓库等环境是封闭的，较常见是先通过离子交换柱和微过滤器，难溶于其他有机溶剂。净化室内进行包装得到最终产品——高纯氢氟酸

三、使产品进一步混合和得到过滤，腐蚀性极强，能与一般金属、首先，

高纯氢氟酸为强酸性清洗、

二、所以对包装技术的要求较为严格。并将其送入吸收塔，保证产品的颗粒合格。还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。